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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 DIS-252 通過固定渦旋壁(固定渦輪)與對面渦旋壁(從動渦輪)的偏心運動,進行排氣的真空泵

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T 通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出的一款泵

ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 UR421-T UR600 用途 CVD裝置 蝕刻裝置 灰化裝置 ALD、ALH 等

ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 LS120A LS300A LS600A LS1200A LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過的螺桿形狀和節(jié)電技術的融合，使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵